O gás automático da cauda do Polysilicon recicla a purificação do gás de exaustão 20000Nm3/H

O gás automático da cauda do Polysilicon recicla a purificação do gás de exaustão 20000Nm3/H

O ³ /H da automatização 20000Nm esgota o gás da cauda do Polysilicon da purificação do gás recicla

Descrição:

Um número destilação da dianteiro-fase e de tecnologia patenteada do hidrogênio extração back-stage são adotadas, e a tecnologia é acoplada, e o HCL e o chlorosilane são recuperados da exaustão policristalina do silicone para as unidades inteiras. O chlorosilane pode ser adotado como a matéria prima e a pureza do gás dos produtos pode exceder 99,999%.

Descrição de processo

A fim assegurar o funcionamento contínuo e estável do dispositivo, um grupo de 6 torres da adsorção foi usado para tratar o gás da alimentação. Há sempre duas torres da adsorção na fase da adsorção, e outras quatro torres da adsorção estão na fase da regeneração.

A pressão de gás da exaustão da oficina do CDI do usuário ~1.89mpa incorpora a unidade da purificação de TSA para a adsorção e a purificação. As impurezas (cloreto de hidrogênio e chlorosilane) fixaram facilmente no gás são absorvidas no adsorvente, e o hidrogênio que não é absorvido facilmente é saída ao usuário após o regulamento de pressão.

Depois que o adsorvente é saturado, a torre da adsorção está comutada à torre da adsorção da alimentação. Depois que a descarga e a redução reversa da pressão, a análise da elevação da temperatura, refrigerar e elevação da pressão, a torre da adsorção terminam a preparação antes da adsorção outra vez, para conseguir a operação contínua e estável.

Agora, cada etapa é introduzida como segue:

a. adsorção: o gás da alimentação entra na torre da adsorção da parte inferior da torre da adsorção, e os componentes com ponto de ebulição alto (cloreto de hidrogênio e chlorosilane) são fixados seletivamente pelo adsorvente, e pelo baixo componente do ponto de ebulição (hidrogênio) não fixado são saída da parte superior da torre da adsorção como o gás do produto.

b. descarga do reverso: depois que a etapa da adsorção é terminada, o gás na torre da adsorção está descarregado contra o sentido da alimentação da adsorção. A regeneração parcial do adsorvente pode ser obtida reduzindo a pressão parcial das impurezas pela descarga reversa.

c. análise de aquecimento: após o fim do processo contrário da descarga, a fim regenerar completamente o adsorvente, é necessário usar o hidrogênio caloroso do produto para aquecer o adsorvente para fixar as impurezas no adsorvente e analisar a cama do adsorvente, remove a cama do adsorvente, ajusta o gás após a transferência térmica, e ajusta a pressão no sistema analítico da recuperação do gás recuperar o chlorosilane do gás analítico. O fonte de calor do adsorvente é óleo da condução de calor e hidrogênio quente)

d. refrigerar: depois que a etapa da análise da elevação da temperatura, o adsorvente é regenerada completamente. A fim fazer o adsorvente jogar um desempenho melhor da adsorção, o adsorvente precisa de ser refrigerado. O hidrogênio do produto na temperatura ambiente é usado para remover a camada da cama do adsorvente para refrigerar e o óleo da transferência térmica da torre da adsorção é substituído pelo óleo da condução de calor na temperatura ambiente.

e. impulso: após a etapa refrigerando, há ainda uma diferença entre a pressão da torre da adsorção e a pressão de sistema. A fim assegurar a operação segura e estável do sistema, o hidrogênio do produto é usado para impulsionar a torre da adsorção, de modo que a pressão da torre da adsorção seja próxima à pressão de sistema, para evitar a instabilidade do sistema quando a torre da adsorção for comutada.

O sistema de óleo da transferência térmica é dividido no sistema da circulação do óleo quente e no sistema frio da circulação do óleo. O usuário fornece o óleo da transferência térmica, parte de que é aquecido por H2 do preheater para aquecer acima a torre da adsorção, e de uma parte é aquecido pela bandeja interna da torre da adsorção para aquecer a torre e o adsorvente da adsorção, e retorna então ao proprietário para guiar a caldeira do óleo quente para terminar a circulação do óleo quente; Após o aquecimento, o óleo da transferência térmica com baixo componente do ponto de ebulição é refrigerado e participa então no tanque de baixo nível do óleo da transferência térmica. O óleo frio está circulado à torre da adsorção para refrigerar o adsorvente através da bomba de circulação do óleo da transferência térmica até que a análise esteja terminada. O óleo da transferência térmica depois que a inversão térmica é refrigerada pelo refrigerador e retornada então ao tanque de baixo nível do óleo da transferência térmica, e são terminados então para formar uma circulação fria do óleo.

Índices técnicos:

Pureza: >99.999%

Capacidade: 100~50000Nm3/h

Rendimento: ≥99%

Referência: